高純氣體對(duì)于不同類別的氣體，純度指標(biāo)不同，例如對(duì)于氮，氫，氬，氦而言，通常指純度等于或高于99.999%的為高純氣體；而對(duì)于氧氣，純度為99.99%即可稱高純氧；對(duì)于碳?xì)浠衔?，純度?9.99%的即可認(rèn)為是高純氣體。高純氣體應(yīng)用領(lǐng)域極寬，在半導(dǎo)體工業(yè)，高純氮、氫、氬、氦可作為運(yùn)載氣和保護(hù)氣；高純氣體可作為配制混合氣的底氣。

高純氣體根據(jù)分子結(jié)構(gòu)的不同可以分為有機(jī)高純氣體，和無機(jī)高純氣體。

有機(jī)高純氣體
烷烴類：甲烷（CH4）、乙烷（C2H6）、丙烷（C3H8）、環(huán)丙烷（cyc-C3H6）、正丁烷（n-C4H10）、異丁烷（i-C4H10）、正戊烷（n-C5H12)、新戊烷（neo-C5H12）、氯甲烷（CH3Cl）、氯乙烷（C2H5Cl）、三氟甲烷（CHF3）、環(huán)氧乙烷（C2H4O）、砷烷（AsH3）、磷烷（PH3）、硼烷（B2H6）、硅烷（SiH4）等；

烯烴類：乙烯（C2H4）、丙烯（C3H6）、丙二烯（C3H4==）、1-丁烯（1-C4H8）、異丁烯（i-C4H8)、反-2-丁烯（t-2-C4H8）、順-2-丁烯（c-2-C4H8）、1.2-丁二烯（1.2-C4H6）、1.3-丁二烯（1.3-C4H6）、氯乙烯（C2H3Cl）等；

炔烴類：乙炔（C2H2）、1-丁炔（1-C4H6）、2-丁炔（2-C4H6）、甲基乙炔（C3H4）、乙烯基乙炔（C4H4=≡）等；

其他：二甲醚（C2H6O）、甲硫醇（CH4S）、熏蒸劑（C2H4O-CO2)等

無機(jī)高純氣體

1、空氣（Air）、氫氣（H2）、氧氣（O2）、氮?dú)猓∟2）、氬氣（Ar）、氦氣（He）、氖氣（Ne）、氪氣（Kr）、氙氣（Xe）等；

2、氨氣（NH3）、氯氣（Cl2）、二氧化硫（SO2）、一氧化碳（CO）、二氧化碳（CO2）、二氧化氮（NO2）、氧化亞氮（N2O）、氧硫化碳（COS）、氯化氫（HCl）、溴化氫（HBr）、硫化氫（H2S）等；

3、三氟化硼（BF3）、三氯化硼（BCl3）、四氟化碳（CF4）、四氟化硅（SiF4）、四氯化硅（SiCl4）、六氟化硫（SF6）等